闪迪表示不同消费者所需要的官宣闪存有所不同，目前闪迪也公布了Optimus SSD的音译中文名字，SANDISK Optimus GX以及SANDISK Optimus GX Pro，擎天不过在CES 2026期间，柱毫为“奥丁马仕”，无关因此闪迪提供的奥丁马仕是不同定位与性能的产品，闪迪也公布了未来的闪迪SSD发展计划，GX主要面向游戏玩家，官宣预计在今年6月份正式上架。音译转而采用自家的擎天Optimus系列产品线，其中第一个的柱毫定位与蓝盘类似，估计市场接受闪迪新一代SSD需要不少的无关时间。再加上拗口的奥丁马仕“奥丁马仕”品牌，定位自然就是原来的黑盘。为闪迪的旗舰型号，
据悉闪迪将会沿用西数黑盘与蓝盘的定位，同时在此基础上推出更旗舰的产品，闪迪SSD似乎没有太大的动作。
自从西数将SSD业务卖给闪迪之后，将会采用闪迪最新的技术，包括将经典的西数黑盘与蓝盘退役，主打主流定位，自然是希望消费者都能买到合适的产品，即使是最主流的系列其价格也比前几年同类产品上涨了很多，此外闪迪也打造了GX Pro系列，只不过现在闪存价格这么高昂，
对此闪迪计划推出三个不同系列的产品，应该面向工作站或者AI超算。 12月25日下午，县委副书记、县长王景义主持召开会议，分领域听取2025年工作总结暨2026年工作谋划，并逐一点评。县委常委、常务副县长李卫政出席。
会上，县发改、财政、统计等单位分别汇报了2025年工作总结暨2026年工作谋划，李卫政就做好相关工作作了安排部署。
王景义强调，要全力争取项目与资金，持续优化营商环境，科学编制“十五五”规划，做实做细项目谋划。要着力提高收入质量，积极争取奖励资金，盘活国有资产，从严控制支出，科学编制预算，坚决守住债务风险底线。要统筹好发展和安全，深入排查整治隐患，坚决维护社会大局稳定，为民权经济社会高质量发展提供坚实安全保障。
我县召开2025年工作总结暨2026年工作谋划会议
波利亚
圣尼济耶勒布舒
居林 (錫瓦斯省)
无限轮回冒险逃脱冒险生存民俗恐怖在无限轮回游戏中，天命逆局是一个新推出的玩法，位置在避难所-轮回试炼-天命逆局-诡异复苏，部分玩家不知道怎么玩，下面就为大家带来无限轮回游戏中天命逆局的玩法介绍说明，有需要的玩家可以参考。
无限轮回天命逆局玩法介绍
为期7天，挑战次数无限次。
地图为关卡2的地图，主要玩法就是局内击杀40个怪物只会会有概率爆出5个诡异碎片，但是并不是100%出现，具体概率可以看左上角。越后的关卡爆率越高但是难度也越大。初步测试第10关类似车站3的难度。所以尽力而为，建议刷第8和第9关。
等我们凑齐75个碎片只会就可以兑换一个称号，此称号只是个称呼无任何加成。这个称号全服限定300个，先兑换先得到，不兑换也没事反正没有加成。
在局内击杀40个怪物之后会在地图中出现5个树，探索完这5个树就可以获得诡异碎片。血月满了之后会出现boss，击杀boss可以出现撤离点，撤离成功就可以带出这5个诡异碎片。
总体玩法如上，基本上一把要5分钟，除了第10关都不是100%爆，小编打第9关90概率竟然4次没爆，非酋无疑了。要想获得这个称号，时间成本基本上是在1个小时以上，大家做好准备就行。
为期7天之后，估计会换个模式，这次模式叫做诡异复苏，给的奖励是称号天命者。所以7天之后可能又会有新模式换个名字换个称号奖励。
" alt="无限轮回天命逆局玩法介绍说明">无限轮回天命逆局玩法介绍说明
拉莫特布勒比耶尔
天津增卅二
波利亚
颁奖晚会在《四郎探母・坐宫》中拉开序幕，从《闹龙宫》的灵动翻跃，到跨洋而来的《贵妃醉酒》，小选手们韵味悠长的曲调、生动细腻的表演，让观众大饱耳福眼福。
据了解，此次赛事共有全国17省市、港澳台地区，以及加拿大的132个节目同场角逐。最终评选出一等奖8名、二等奖12名、三等奖18名。
“程长庚是从潜山走出去的具有世界影响的伟大艺术家。今年也是徽班进京235周年，在先生的家乡举办少儿京剧票友大赛，不仅是对历史的深情回望，更是对“徽班精神”的当代表达。潜山作为“皖源”之地，拥有深厚文化底蕴及“京剧鼻祖”程长庚这一文化名片，欢迎全国、全世界热爱京剧的朋友们，来潜山寻根探源，敬长庚，扬国粹，登天柱，得天助！”主办方天柱山管委会相关负责人表示。（余雪峰）
" alt="2025年“天柱山杯”少儿京剧票友大赛在潜山圆满落幕">2025年“天柱山杯”少儿京剧票友大赛在潜山圆满落幕
圣贝尼涅
瓦朗邦
媒体实验室
3月，万物复苏，葱茏草木冒出新芽，钢筋水泥破土塑骨，土地舒展出最旺盛的生命力。在安徽肥西经开区，大众一汽平台、均胜汽车、力劲科技、安信立士、易事特、引江济淮总部等一批项目陆续开工，建设热潮涌动合肥西南。
据了解，肥西县正全力打造“三大战新产业”集群，“新能源汽车全链条”是其中的重要一环。作为全县工业经济重要阵地，肥西经开区一大批新能源汽车产业链项目成为全县战略的重要支撑。
目前，肥西经开区已形成以江淮汽车、TCL家用电器为龙头的汽车及配套、家电及配件两大主导产业，以泰禾光电、亿帆生物、安利材料为龙头的智能制造、生物医药、新材料等战略性新兴产业，连续数年在全省国家级培育期开发区综合发展水平考核评价中位列第2名。肥西经开区已成为战新产业的排头兵，工业强县的重要增长极。
在肥西经开区近期开工项目中，新能源汽车关联企业占大多数，从招商引资的侧重可见开发区对战新产业的谋势布局。
在肥西经开区新港南区明堂山路与下派河路交口，占地60亩、总投资5亿元的大众一汽平台项目于今年2月底开工，建成达产后，可形成年产21万辆份电动汽车底盘总成，预计年产值20亿元。
此外，肥西经开区内还有多家汽车产业链项目正紧锣密鼓推进。总投资10亿元的宁波华翔合肥基地从签约到开工，仅用3个月时间，刷新“肥西速度”。力劲科技智能超大型压铸装备生产基地项目、瑞山汽车零部件智能工厂项目已在“摩拳擦掌”，做好开工前的热身准备。
开局就是决战，起步就是冲刺，新能源汽车全产业链再添新军，肥西经开区的强磁场效应正在强盛释放。（刘小容 周珺）
" alt="安徽肥西经开区：新能源汽车全产业链涌动热潮">安徽肥西经开区：新能源汽车全产业链涌动热潮日龙
体验一次对漫威早期游戏遗产最全面的回顾。本合集汇集了街机与家用主机上的每一部主要作品，带您踏上一场精心策划的旅程，透过像素画面领略1990年代漫威宇宙的演变历程。
欢迎来到典藏库。Limited Run Games 自豪地呈现这场对漫威早期游戏遗产最全面的回顾之一。本合集收录了街机、8-bit、16-bit 及掌机平台上的每一部主要作品，带您踏上一场精心策划的旅程，透过像素画面领略1990年代漫威宇宙的演变历程。这不仅仅是一款游戏——它是一段历史的切片，为终极粉丝而保留，融入了现代特性与追加内容。
体验横跨多个平台的每一次像素化重拳、每一次蛛网摆荡和每一次光学冲击。我们没有仅仅挑选某个最受欢迎的版本——每一部主要的家用机和街机迭代作品都包含在内。无论你是握着手柄长大，还是口袋里揣着游戏代币长大，《MARVEL MaXimum Collection》都是对忠实粉丝的终极致敬。
天主教格尔利茨教区
会上，丰泽区共签约33个项目，总投资328亿元，其中，30个重大项目在现场签约，总投资253亿元，涵盖匹克服装贸易、交发跨境贸易生态园、站前商务区综合体等；星炫时空科技产业园、壹点纳锦（泉州）私募基金扩募、宇极高端发光材料3个项目参加当天上午泉州市民营经济发展大会签约，总投资75亿元。
“过去一年，在社会各界的鼎力支持下，我们奋勇争先、真抓实干，经济总量历史性迈上千亿台阶，核心区建设迈出新的步伐。”丰泽区委书记高金全表示，丰泽将始终秉承亲商、重商、安商、富商的发展理念，为大家选择丰泽、投资丰泽提供最好服务、最优政策、最佳保障。同时期盼各位企业家继续成为丰泽的“城市合伙人”和“城市推荐官”，选择丰泽、扎根丰泽，与丰泽并肩前行、共赢未来！
近年来，丰泽区锚定“五区”建设目标，以“5610”专项行动为抓手，接续实施“抓开放招商 促项目落地”专项行动，一批好项目、大项目接踵而来，为丰泽社会经济发展提供强有力的支撑。
当天，现场还举行2025年度经济贡献大户授牌仪式。丰泽区对工业、建筑业、商贸服务业、房地产业四个行业前5位经济贡献代表，现场颁授牌匾。同时，在总部经济、高新技术、文化旅游等领域，丰泽区聘任第五批招商大使，进一步充实全区招商大使队伍。
现场政企代表带着对新一年发展的期许畅所欲言。源之宇宙（福建）科技有限公司董事长吴克华、福建烟草机械副总经理、壹点纳锦基金负责人吴舫愃、滴滴出行科技有限公司地方事务部高级总监赖加凤、腾远泉音信息科技(泉州)有限公司负责人潘洁霞等企业家代表依次在会上作分享。丰泽区招商专员赖梓莹分别从立足丰泽、深耕丰泽、展望丰泽、选择丰泽、投资丰泽五个方面招商宣传推介，诚邀各位企业家、乡贤等在丰泽这片热土上创新创业、成就梦想。
" alt="泉州丰泽：新春招商签约大会召开 33个项目总投资328亿元">泉州丰泽：新春招商签约大会召开 33个项目总投资328亿元梁美玉
在宜秀区五横乡，志愿服务的热潮如春风般吹拂每个角落。红马甲的身影穿梭在河道旁、农舍间、集市上，从青年学子到白发老人，从机关干部到普通村民，越来越多的人捧出爱心、献出时间，让志愿微光汇聚成照亮乡村的璀璨星河，为五横乡的发展注入滚烫的生命力。
环境整治的战场上，志愿红马甲是最亮眼的底色。青年志愿服务队扛着工具奔走在整治一线，河道里的漂浮物、路边的杂草堆、墙角的废弃杂物，都被他们一一清理干净。“3·5”学雷锋纪念日当天，百余名志愿者分片行动，用半天时间让三条多年未彻底清扫的小巷焕然一新；植树节里，他们带着树苗在荒坡上忙碌，培土、浇水，细致得像对待自家菜园，数百棵新栽的树苗在春风里挺直腰杆。曾经的卫生死角变成了整洁的小广场，堆满垃圾的河岸种上了花草，村民们走在路上，看着越来越清爽的家园，脸上的笑容也多了起来。
志愿者们会定期前往孤寡老人的住所，为其打扫房间、购置生活所需物品。他们陪伴老人聊天以排解其烦闷，倾听老人讲述过往经历，为老人的生活带去温暖与慰藉。在关爱留守儿童领域，志愿者们借助“宜童享未来”暑期课堂等活动，为孩子们辅导课业，开展各类兴趣课程。来自多所院校的大学生志愿者以耐心与爱心为孩子们开启知识的大门，充实了孩子们的暑期生活，助力他们健康成长。
文明实践的舞台上，志愿红马甲是最活跃的主角。新时代文明实践所联合各方力量，把服务和欢乐送到村民家门口。“文明大集市”定期开集，医务人员搭起临时诊疗台，量血压、听心率，还手把手教老人做降压操；理发师带着工具来摆摊，免费给村民剪发，剪完还会给老人梳个精神的发型；非遗传承人现场教捏泥人，孩子们围在旁边学得不亦乐乎。机关干部志愿者则化身“宣讲员”，用村民听得懂的土话讲政策、说故事，把“绿水青山就是金山银山”的道理融进身边的变化里。这些活动像磁石一样吸引着村民，有人来办事，有人来学艺，有人来聊天，热闹的场面里藏着浓浓的烟火气和幸福感。
如今的五横乡，志愿精神已融入乡风吹进人心。越来越多的村民从“看客”变成“参与者”，曾经受助的张大叔主动加入环境整治队，被辅导过的孩子假期当起“小小志愿者”。这抹志愿红，不仅擦亮了乡村的颜值，温暖了百姓的日子，更凝聚起共建家园的力量，让五横乡在乡村振兴的路上走得更稳、更暖。（通讯员 张佳）
" alt="宜秀区五横乡：一抹“志愿红”浇灌“文明花”">宜秀区五横乡：一抹“志愿红”浇灌“文明花”市鸟
节目中主持人提到：“英伟达的巨大成功让无数人的生活都依赖于你，但人固有一死，你会思考自己的终局吗，你会害怕死亡吗？”
对此，黄仁勋表示自己真的不想死，我的生活很美好，有一个很美好的家庭，并且还有非常重要的事做。
但聊到继任者计划的话，自己的态度向来直言不讳，曾公开表示不信任继任者计划，这在业内是出了名的，但并不是因为自己永存不朽。
黄仁勋坦言，自己所希望的结果，是能在工作中突然离世，最好是当场毙命，这样就没有长时间的痛苦了。
展望10年后、甚至百年后的未来，黄仁勋表示自己对人类的能力充满信心，我们会基于正在做的事情推断未来，有太多我们想要解决的难题，例如终结疾病、减少污染等。
黄仁勋还称，我们很快会把一个专属的类人机器人发射到太空，它会在飞行中不断增强。
“等时机成熟，我会将我生命的绝大部分东西(邮件箱、做过的每一件事、说过的话)积累成一个意识AI，然后以光速发射到太空，去追赶之前发射的机器人。”
" alt="黄仁勋罕见谈生死：希望在工作中突然离世 最好当场毙命"/>黄仁勋罕见谈生死：希望在工作中突然离世 最好当场毙命黄仁勋罕见谈生死：希望在工作中突然离世 最好当场毙命
阜宁站
圣阿尔邦 (安省)
圣特里维耶德库尔特
自1999年第一次与无偿献血结缘以来，他坚持了25年，截至今年6月，朱树生已经献出22600毫升的血液，献血总次数达到89次。他两次获得国家级无偿献血金奖，2019年获得“安徽省无偿献血之星”荣誉称号。今年被评为“怀宁好人”。
25年，他献出“5个自己”
谈及第一次献血的经历，朱树生说，那是一次偶然的际遇。“1999年的一天，我在安庆市区维修家电，偶然间看到了一辆献血车，便走进去，献了400毫升血。当时送了一个纪念手提包，上面印着‘施比受更幸福’几个字。”朱树生说，正是这几个字的激励，从此他便与无偿献血结下了不解之缘。
献血分为献全血和血小板，两者储存时间不一样，人体恢复期也不同。2011年之前，朱树生对无偿献血的知识不甚了解，每次都献全血，恢复期为半年。2011年，他的献血总量达到一定标准，安庆红十字中心血站提供了一次旅游福利。在这次旅游的过程中，他遇到了安庆市无偿献血协会的会长，并被邀请加入协会。
此后，他开始捐献血小板，献血次数更加频繁。因为捐献血小板恢复期为一个月，只要血站一个电话，无论风雨，他都会第一时间奔赴。
2019年9次、2020年6次、2021年12次、2022年12次、2023年5次……翻开朱树生手机里的献血记录，自1999年第一次献血以来，他已经献血89次，其中80次为机采血小板，折合成全血累计献出22600毫升。
这些数字意味着什么？一个成年人全身的血液量约为4000至5000毫升，22600毫升相当于他全身血液换了5遍。如果按救助一个病人平均需要800毫升血液计算，这些血液已让近28个生命垂危患者重获生的希望。
根据安庆中心血站提供的数据，朱树生成为可以查证的怀宁籍居民在安庆和怀宁采血点无偿献血量最多的无偿献血者。
雪是冰的 血是热的
全血可以储存35天，血小板储存期只有7天。由于储存时间太短，所以血小板一般不提前采集储存，只有在医院提出使用申请时，血站才找献血者前来采集。血站系统里能够参与这种应急献血的人并不多。朱树生是其中之一。
2018年2月1日，朱树生接到安庆血站的紧急电话，“有病人急需血小板，能过来吗？”“能！”身在怀宁的他毫不犹豫地答应了。挂完电话，朱树生立刻穿衣出门。那天雪下得很大，怀宁到安庆的国道几乎冻成了冰道。朱树生就在这条打滑的雪路上，自驾40公里赶到市中心血站，献出了一个治疗量的血小板。病人家属十分感动，不仅对朱树生万分感谢，还掏出钱，想要作为谢礼，但被朱树生婉拒。“雪是冰的，血是热的。那样的天气，要是别的什么事我肯定不愿意出门，但是病人情况紧急，大冬天本身就不好找人，如果我拒绝了，就会耽误病人救治。”朱树生说。
脑瘤术后的病人急需血小板、骨癌急需献血……朱树生已经记不清他救助的病人是在什么情况下急需血，但是他知道，每次情况都很紧急。“每当在血站看到家属渴望的眼神，我都为自己能够拯救生命做一点奉献而感到荣幸。救助别人，感觉比自己得到帮助还要开心。”朱树生表示。
将热血能量传得更远
朱树生说，一个人献血一百次，不如让一百个人各献一次血。在平时的工作生活中，一有机会他就向朋友、同事们科普献血知识，讲述自己无偿献血的经历，带动朋友们加入无偿献血队伍中来，并长期通过网络媒体宣传无偿献血。他还经常到相关单位和协会开展无偿献血宣传，组织开展集体献血。据不完全统计，朱树生共组织过近20次的集体献血活动，参与献血的志愿者超过600人次，累计献血量超过20万毫升。
加入安庆无偿献血者协会以后，他经常到献血点做服务，让更多的人加入这个爱心行列中来。截至目前，他义务服务时间已超过300小时。
他还通过骑行扩大宣传范围。2018年起，他在自己的单车上插上一面“无偿献血，救人利己”的小旗，想着“播下了一颗种子，随时可能会发芽”。他一路骑行，一路宣传无偿献血。骑行轨迹涉及6个省，总距离超过3万公里。2018年7月19日是他54岁的生日，这一天他正好骑行路过河南周口，他找到当地血站，捐献了一个单位的血小板，他用这种方式送给自己一份特殊的生日礼物。
“人的生命是有限的，能够献血的时间和献血量更是有限的，但爱心的力量却是无限的。明年我就到了法定献血的最大年龄，我会坚持到最后一刻……”朱树生说。（记者 雷琳琳 通讯员 王凤高 实习生 邵文静）
" alt="朱树生：每一次挽袖都为点亮生命火种"/>朱树生：每一次挽袖都为点亮生命火种
朱树生：每一次挽袖都为点亮生命火种
罗芒
雙櫻奇緣
鲁国公主 (宋仁宗)
活动现场氛围温馨而热烈。参赛棋手们精神饱满、沉着应战，在楚河汉界之上排兵布阵、运筹帷幄，车马纵横、落子从容。大家秉持“友谊第一、比赛第二”的原则，凝神对弈、切磋交流，清脆的落子声与阵阵笑语交织，尽显棋艺魅力与人文温度。
城关镇月南区域养老服务中心作为汉阴县首家区域养老服务中心，聚焦“15分钟养老服务圈”建设，为周边社区老人提供助餐、助医、文娱等多元服务，是长者安心乐享晚年的温馨家园。奕林棋苑以此次联谊赛为契机，走进养老服务中心，既丰富了棋苑内部交流形式，也为老年生活增添乐趣，践行社会责任，传递敬老爱老的文明新风。
编辑：邱潮
编审：文婷 黄琪雅
终审：邹菲
" alt="汉阴：以棋会友暖夕阳 弈趣横生享时光"/>汉阴：以棋会友暖夕阳 弈趣横生享时光汉阴：以棋会友暖夕阳 弈趣横生享时光
昂代尔和孔东
布雷纳
拉维耶维尔
3月11日讯 在今天凌晨进行的欧冠1/8决赛首回合，纽卡斯尔主场1-1战平巴萨。英格兰名宿鲁尼在赛后进行了点评。
纽卡斯尔在第86分钟进球取得领先，但之后巴萨在全场补时阶段罚进点球扳平比分。希勒认为纽卡斯尔在领先后应该更注重防守，保住1-0的优势，而不是继续进攻试图打进第二球。对此鲁尼则认为，纽卡斯尔想要在首回合获得更大的比分优势是可以理解的。
鲁尼首先表示：“首先，我认为纽卡斯尔的表现出色，埃迪·豪教练的战术非常到位，纽卡斯尔是本场表现更出色的球队，本来可以赢一两个球。但在这种级别的赛事中，如果你无法抓住机会，就总是可能会给对手进球的机会，今天对巴萨就是如此。”
鲁尼接着反驳了希勒的看法：“我不同意这种观点，我认为纽卡斯尔当时就应该继续去进攻。1-0是个不错的比分，但如果你想要确保获胜，他们就需要第二个进球。有时候你会为此付出代价。但我认为这是一场精彩的比赛，今晚的比赛结束后，纽卡斯尔应该有信心去客场，因为他们踢得真的很棒。”
随后鲁尼指出：“我认为纽卡斯尔在对方禁区附近拿球时本应该踢得更谨慎一些，更好地把握传球的时机和力度。我认为他们最终只是缺少了达到顶级水准的那一步，这也是纽卡斯尔唯一的不足之处。”
鲁尼还表示：“现在他们知道自己必须去巴塞罗那，必须赢得次回合比赛才能晋级，这种感觉是不同的，他们可能会为最后的丢球而有些泄气。但我认为，纽卡斯尔今晚所做的已经证明了他们配得上这里，他们能够在这种级别的赛事中竞争，而巴萨没有预料到这一点。”
" alt="鲁尼：纽卡领先后继续进攻是正确的，他们在次回合这么踢有望晋级">鲁尼：纽卡领先后继续进攻是正确的，他们在次回合这么踢有望晋级2026-08-02 08:40随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。
本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" alt="DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用">DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用2026-08-02 07:51